曲面铜—康铜薄膜热电偶的研制及分度方法研究

曲面铜—康铜薄膜热电偶的研制及分度方法研究

关卫军１　李水敏２　路宗敏１　张仲恺２　田边２　张金龙２

（１.陕西省计量科学研究院；２.西安交通大学）

摘　要：薄膜热电偶可实现对固体表面温度的准确测量。本文采用磁控溅射工艺制备曲面铜－铜镍合金（康铜）薄膜热电偶，通过对影响成膜质量的溅射参数进行分析，提出一种基于磁控溅射和退火工艺的制备方法，并进行实验验证。结果表明：该热电偶工作温度范围为（－６０～３００）℃，３００℃下输出为４.８２７ｍＶ；该方法的误差绝对值的最大值不超过０.２℃，误差平方和为０.０００２４１７４ｍＶ２，优于传统方法。

关键词：薄膜热电偶；研制；最小二乘法；分度方法