纳米电磁力驱动传感器的工作原理和校准方法的研究

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彭睿　傅忆宾　孙涛

（广州计量检测技术研究院）

摘　要：本文通过介绍纳米电磁力驱动传感器（ＮＭＡＴ）的结构组成和各部件的主要作用，以及其工作原理，对力值和位移的校准方法进行研究，并对测量结果进行分析。结果表明：单方向的力值校准结果可代表力值技术指标；Ｆ１、Ｅ２等级标准砝码和电容式测微仪满足相应参数的技术指标要求。该方法可为校准工作提供参考。

关键词：纳米电磁力驱动传感器（ＮＭＡＴ）；力值；位移；校准；砝码；电容式测微仪