微机电系统半导体气体传感器检测方法

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微机电系统半导体气体传感器检测方法

耿彦红　史苏娟　王瑞　董亮华

（苏州市计量测试院）

摘　要：为解决微机电系统半导体气体传感器检测自主性大，一致性欠缺等问题，对传感器进行全面评价，促进性能进行，本文针对其检测方法进行了研究，检测项目包括传感器检测误差、漂移、温湿度影响试验、振动跌落试验、长期稳定性试验等通用项目，以及功率、传感器检测下限、响应时间和恢复时间等传感器特有性能参数。

关键词：微机电系统；半导体；气体传感器；检测方法