触针式表面轮廓测量仪校准方法研究

触针式表面轮廓测量仪校准方法研究 

臧 军１，２ 何庆雨１，２ 孙 磊１，２ 王传海１，２ 李 阳１，２ 管倩倩１，２ （１山东省计量科学研究院；２山东省计量检测中心） 

摘 要：触针式表面轮廓测量仪主要是测量机械零部件的二维形状和位置参数，广泛应用于高端装备制造业。为了保证轮廓仪测量结果的准 确可靠，为校准工作提供依据，本文对其校准方法进行了研究。 

关键词：轮廓仪；校准方法；不确定度；