尘埃粒子计数器检校探讨

尘埃粒子计数器检校探讨 

暴海霞 厉 龙 吴振一 韦恩泽 史苏娟 管 瑛 （苏州市计量测试院）

摘 要：洁净室环境中，尘埃粒子计数器通常用于监测生产线的颗粒污染，其检测结果是洁净室洁净度等级划分的依据。由于空气中不同大小 的颗粒存在不同的相关风险，颗粒的数量、大小的检测及检测结果的准确性，对保证生产质量至关重要，因此，需进行定期校准。本文依据 ＩＳＯ ２１５０１－４：２０１８，对其检测、校准过程中遇到的问题进行分析和探讨。

关键词：尘埃粒子计数器；ＩＳＯ２１５０１－４；检测；校准