一种基于双面白光共焦光谱的 ICF靶 零件平行度测量方法
顾倩倩 王 冰 陈 雪 马小军
(中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900)
摘 要:为了精密测量 ICF靶零件的平行度,本文提出了一种基于双面白光共焦光谱的样品平行度测量方法。该方法利用双向对顶安装的白 光共焦传感器组件、精密位移平台对样品上下表面轮廓进行测量,使用最小二成拟合方法计算上下表面相对于水平平面的角度偏差,然后,计算出样品的平行度。测量不确定度评估结果表明,当 K=2时,该方法的测量不确定度可达 0.0016°。
关键词:白光双面共焦光谱;ICF靶零件;平行度